特種氣體管道工程實(shí)驗(yàn)室安裝
特種氣體管道工程實(shí)驗(yàn)室安裝 高純氣體及特種工藝氣體等管路輸送系統(tǒng)的技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)安裝、系統(tǒng)整體檢測(cè)及配合客戶調(diào)試運(yùn)行的整套工程技術(shù)服務(wù),為您提供氣路系統(tǒng)的專業(yè)、個(gè)性化、全面的服務(wù)...
提供特氣管道系統(tǒng)安裝、實(shí)驗(yàn)室集中供氣、實(shí)驗(yàn)室氣路改造、高純氣體管路工程維修、潔凈氣體管道安裝等業(yè)務(wù)。
服務(wù)主要對(duì)象如下:
各地大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、各地環(huán)保局、環(huán)境監(jiān)測(cè)中心;
各地食品藥品藥檢所各地醫(yī)院、疾病預(yù)防控制中心;
各地研究院、研究所半導(dǎo)體芯片、光伏太陽能芯片制造商;
LED、LCD平面顯示制造商光纖制造、醫(yī)藥生物等高科技行業(yè); 氣體管道工程可以分為很多種氣體:
(1)易燃性氣體
把自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒,當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定時(shí),PH3與B2 H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃??扇家兹?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3。
(2)毒性氣體(Toxic Gas):半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性***大,它們的閾限值TLV(Threshold Limited Valve)分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
(3)腐蝕性氣體(Corrosive Gas):這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強(qiáng)的腐蝕性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。
(4)惰性氣體(Inert Gas): 隋性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害,在氣體傳輸過程中,相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。
(5)氧化性氣體(Oxide Gas):這類氣體有較強(qiáng)的氧化性,一般同時(shí)具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
實(shí)驗(yàn)室特種氣體管道工程安裝有哪些標(biāo)準(zhǔn):
1、所有氣體管道都由高質(zhì)量的、*退火型、無縫連接的不銹鋼管SS-316L組成,銅管只使用在氣體管路的末端和氣體純度不是要求太嚴(yán)格的地方(比如通風(fēng)柜)
2、所有的管路、閥門、壓力表都由高質(zhì)量的不銹鋼構(gòu)成,并且都是標(biāo)準(zhǔn)配件。
3、根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的用氣量,計(jì)算供氣壓力、流量和管道的內(nèi)徑,所有氣體主管道原則上不低于9.52mm(3/8in,儀器空氣主管道直徑為12.7mm)。管路末端,原則上不低于6.35mm(1/4in,也可根據(jù)實(shí)際使用量而定)。
4、所有管路在天花板下面布設(shè),并通過功能柱到中央臺(tái)。邊臺(tái)的氣體管路隱藏在實(shí)驗(yàn)工作臺(tái)后面服務(wù)通道內(nèi)。
5、易燃?xì)怏w(如乙炔、氫氣等)需要和其他氣體分開,單獨(dú)引入。
6、所有氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí),才可以使用壓力配件。
7、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的閥門、減壓閥門、壓力表。此外,對(duì)于供應(yīng)多臺(tái)分析儀器的氣體管路,另外還需要?dú)怏w壓力控制指示裝置。
8、引到工作臺(tái)的氣體管路將安裝單獨(dú)的球閥或針閥來控制。
9、氣相色譜工作臺(tái)上均勻的排放各種氣體的出口,管徑為3.18mm(1/8in)。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
10、工作臺(tái)上氣體出口由單獨(dú)的閥門來控制。
11、所有氣體出口為不銹鋼閥門。
12、氣體管路每隔1.5m的距離,都要有明確表標(biāo)示,同時(shí)指示氣體的流向。
13、氣體管路的支架要求耐腐蝕,可以采用不銹鋼或其他合適的工程塑料等制作。
14、每隔1.5m左右,氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的直徑,設(shè)置合適的支架位置。
15、所有彎曲處都要有支撐。
16、所有“U”性彎曲處根據(jù)安裝情況,需要有支撐。 特種氣體管道工程實(shí)驗(yàn)室安裝